粵升設備自主研發的SiC外延爐,外延爐已獲得多家外延生長廠家批量訂單,生長的SiC外延片質量達到國際領先水平,滿足SBD和MOSFET器件的制備要求。
設備已通過國內知名SiC襯底公司驗證,且可批量供貨;設備兼容8吋晶錠。
其它SiC設備研發中···
Copyright ? 2022 廣州粵升半導體設備有限公司 ICP證0301